灭菌是个绝对概念，意为完全杀灭所处力微生物，经过灭菌处理的物品可以直接进入人体无菌组织内而不会引起感染，因此，灭菌是最彻底的消毒。等离子体灭菌技术是新一代的灭菌技术，是医疗卫生、制药、生物工程、食品行业灭菌拘束的未来发展方向。
在医疗设备中有一个比较典型的应用，真空低温消毒设备（低温等离子灭菌器），是适用于不耐热、不耐湿的金属、非金属的精密诊疗器械和用品的灭菌。在这个设备运行中真空阶段，SUAY30真空/绝压变送器起了至关重要的作用，全程控制灭菌室内的真空（绝对）压力，以保证灭菌过程的有效性。
压力量程：绝压0-10MPa（任选）
精度等级：0.5%，0.25%，0.15%，0.1%，0.075%
输出信号：4-20mA，0-5V，0-10V，数字信号，4-20mA（线与功能/HART）
压力接口：M20*1.5，G1/4，G1/2、KF16（可定制）
测量介质：与316L兼容的气体、液体
注：用户对外形尺寸、测量介质（如高温介质、腐蚀性介质、粘稠介质、粉尘介质）、使用环境（如抗干扰、防爆、显示等）有要求，可与技术人员联系。
第一、真空阶段：
启动真空泵，灭菌室内压力约4—5分钟由原来2700Pa下降到<60Pa，进入真空保压、预等离子阶段，去湿，灭菌预备，在程序设置时间内压力一直维持在60Pa上下，高频射频源激发产生等离子体。
第二、扩散阶段：
经汽化过氧化氢注入灭菌室后迅速扩散，灭菌室内压力上升至800~2300pa并维持在这个水平直到扩散到阶段I完成。当灭菌室被真空泵抽成60pa以下真空后，打开装有过氧化氢（H2O2）的容器与灭菌室之间的阀门，液体状的H2O2经气化室加热至40℃后，气化扩散至灭菌室的整个空间。
第三、真空阶段：
H2O2本身具有较强的杀菌作用，在H2O2扩散过程中可杀死被处理物品表面的部分细菌病毒。扩散完后先换气，导入经无菌过滤器处理的空气，灭菌室内压力恢复到大气压；约40秒后开始抽真空，至压力小于60pa。
第四、等离子阶段：
灭菌室与网状不锈钢电极之间加上高频电压后，灭菌室中的H2O2在高频电场的作用下，被分离为带电粒子，形成等离子体，等离子体形成过程中产生大量紫外线，直接破坏微生物的基因物质。能够摧毁微生物和扰乱微生物的生存功能，达到灭菌目的，灭菌室内压力维持在60Pa上下，高频射频源激发产生等离子体。
第五、回空阶段：
空气经无菌过滤器进入灭菌室后，压力恢复到大气压．程序结束。
等离子灭菌的第一个阶段就是真空阶段：通过真空泵将灭菌舱内的空气抽出，直到达到等离子体放电的真空条件，同时可以去除灭菌物上的湿气。在这个过程中我们的SUAY30系列真空压力变送器会实时监测灭菌舱内的压力，直至达到等离子体放电的条件。真空期结束后，进入注液扩散阶段，完成灭菌过程。
